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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8厘米晶圆加工线配合的超纯净水系统的,每顿饭会产生含硅废水外理150吨。废水外理中虽无巨资属,但硅含磷量高易积垢,且电阻器率需可达到18MΩ·cm才能够循环。本来的外工院艺难以充分满足新实施的《网上工艺水环境的排放标准物的排放标准的标准》(GB39731-2020)独特的排放标准卫生防护距离。 工业废水含量特质 首要严重污染 :氢氧化铁硅(200-300mg/L)、颗粒物硅(颗粒直径0.1-1μm) 特殊性请求 :TOC<10μg/L,硼水平<5μg/L 水质检测属性 :低电阻率(<50μS/cm)但硅氧化物特性麻烦 处理注意事项注意事项 创新性用到"梯级膜拆分+电去化合物"乐队组合施工工艺: 微滤预外理 :1μm卫浴陶瓷膜拦住大科粒硅,通量形成80LMH 正离子调换光敏树脂 :D201大孔硅胶粘合剂选用性离心分离硅酸大分子 中级RO控制系统 :一是段回收利用率60%,二是段通过高脱硼膜部件 EDI电去阳离子 :交流电强度2A/m²,维持彻底清除多余阳离子 紫外光灭菌 :254nm太阳光线服用量40mJ/cm² 技术性特点 规划设计专业级阻硅剂(有机会胺类符合物),廷迟膜的污染寿命3倍 EDI板块创新性流道制定,硅清理率大幅提升至99.8% 线下硅定性测试仪(衡量位置0.1-500μg/L)实现了精准服务有效控制 操作取得的成绩 经第四方探测: 总硅从280mg/L减至0.05mg/L 硼硫含量从8μg/L降下来0.3μg/L 系统性回报率从原40%增加至68% 膜进行更换周期公式加长至5年,年操作成本投入调低35%

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