某光电器件集成ic生产厂在晶圆生产制造阶段中，利用硅烷确定硅外延性生张，废气排放洗涤剂塔带来高含锌量含硅废渣。废渣都具有pH上下波动大（2-11）、硅含锌量高的性能，一般办理最简单的方法易突然出现硅垢短路原因。 污水部分及来源于 电镀废水具体物质为： 溶化性硅酸盐 ：SiO₂酸度达1000-1500mg/L 磷酸/氢脱色钠 ：清洗塔强酸强碱清洗液农药残留 颗粒肥料硅 ：奈米级SiO₂电解质溶液 痕量砷 ：材质溶物带进去 处理生产技术步奏 多元化采取"二级采和+膜吸附+汽化凝结"工序： 6级中合 ：用CaO调控pH至4-5，绘制硅酸钙沉定，硅洗去率60%。 一级中合 ：加Na₂CO₃将pH提升自己至9，进这一步滤渣余量硅，电容串联用镁剂除砷。 反渗透膜整体 ：0.02μm卫浴陶瓷膜过滤装置纳米级级硅粒子，通量比较稳定在80LMH。 MVR蒸发掉器 ：精提高盐废液，析出出Na₂SO₄副食品，水回收利用率超90%。 然后治疗效果 总硅从1500mg/L调至5mg/L之下 砷成分从0.8mg/L减至0.01mg/L 系统无积灰正常运作可超过2年 一年收回磷酸钠氯化钠晶体约800吨