杭州某半导体器件集成块生产我们，晶圆制造的时候中存在含硅、氟的特有废液，设置工作市场规模1200吨/日。废液有效成分多样化，带有微米级硅颗粒肥料及氢氧化钠，传统艺术工作最简单的方法不易符合标准。 化工废水物质及来历 一般造成的大气污染物 ：胶体溶液硅（100-500nm比表面积）、氟阴阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 来源于工作 ：晶圆刻蚀污废污水 （45%）、CMP化学物质厂家打磨污废污水 （40%）、仪器冲刷水（15%） 办理工艺设计的流程 自主创新选取"化学上沉垫+持种膜分离法"技术应用交通路线： 钙盐凝固 ：加药系统氯化钙洗去氟亚铁离子（生产CaF2积淀） 斜板沉淀池作用 ：软型斜管沉淀池剂保证 溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm内径膜挤占微细颗粒肥料 反渗透设备工作会更设计 ：脱盐率>98%，收旧率75% 化掉晶体 ：浓水段建立氟化物零摆放 决定效果好 氟化物密度：<8mg/L（降到国家的特一级的标准10mg/L） 硅含量的：<5mg/L 水能源循环率：70%用到一系列闭式冷却塔保湿 危废处理减量化：减压蒸馏残余物量较传统文化技艺减低60%